| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6252942(A) |
申请公布日期 |
1987.03.07 |
| 申请号 |
JP19850192016 |
申请日期 |
1985.09.02 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
TERAJIMA KAZUTAKA;WASHITSUKA SHOICHI;NISHIO JOSHI;WATANABE MASAYUKI |
| 分类号 |
H01L21/66;G01N27/42;G01R31/26;H01L21/18 |
主分类号 |
H01L21/66 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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