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发明名称 ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPS6252935(A) 申请公布日期 1987.03.07
申请号 JP19850192924 申请日期 1985.08.31
申请人 NIPPON GAKKI SEIZO KK 发明人 TAWARA TAKASHI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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