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发明名称 SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPS6252838(A) 申请公布日期 1987.03.07
申请号 JP19850191270 申请日期 1985.08.30
申请人 JEOL LTD 发明人 ONO AKINARI
分类号 H01J37/147;H01J37/28 主分类号 H01J37/147
代理机构 代理人
主权项
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