| 发明名称 |
PROCEDE POUR ENLEVER UNE MATIERE ORGANIQUE SELON UN MOTIF D'UNE PELLICULE ORGANIQUE |
| 摘要 |
<P>PROCEDE POUR ENLEVER UNE MATIERE ORGANIQUE SELON UN MOTIF D'UNE MATIERE ORGANIQUE; POUR ACCROITRE LA VITESSE D'ENLEVEMENT PAR PHOTODECOMPOSITION PAR ABLATION SELON UN MOTIF A L'AIDE D'UNE LUMIERE ULTRAVIOLETTE AYANT UNE DENSITE DE PUISSANCE SUFFISANTE, ON UTILISE UNE PELLICULE ORGANIQUE FAITE D'UN MELANGE D'UN POLYMERE ORGANIQUE ALIPHATIQUE ET D'UNE MATIERE ORGANIQUE AROMATIQUE OU D'UN COPOLYMERE DE MOTIFS ALIPHATIQUES ET DE MOTIFS AROMATIQUES COMBINES CHIMIQUEMENT.</P>
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| 申请公布号 |
FR2586831(A1) |
申请公布日期 |
1987.03.06 |
| 申请号 |
FR19860012367 |
申请日期 |
1986.09.03 |
| 申请人 |
GENERAL ELECTRIC CY |
发明人 |
HERBERT STANLEY COLE, JR., YUNG SHEN LIU ET HERBERT REYNOLD PHILIPP;LIU YUNG SHEN;PHILIPP HERBERT REYNOLD |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/038;G03F7/039;G03F7/30;G03F7/36;H01L21/027;H01L21/311;H01L21/48;(IPC1-7):G03F7/26;C08L33/12;C08L35/00;G03C1/68 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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