发明名称 ORIFICE PLATE FOR CONTROLLING GAS FLOW INTO VACUUM PUMP DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6251777(A) 申请公布日期 1987.03.06
申请号 JP19850265166 申请日期 1985.11.27
申请人 VARIAN ASSOC INC 发明人 JIYON AARU POOTAA SHINIA
分类号 F04B37/08;F04B37/16 主分类号 F04B37/08
代理机构 代理人
主权项
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