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发明名称 IMAGING DEFECTS IN A SEMICONDUCTOR BODY
摘要
申请公布号 EP0147587(A3) 申请公布日期 1986.12.30
申请号 EP19840113502 申请日期 1984.11.09
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 CASTELLANO, ANTHONY JOSEPH, JR.;DISTEFANO, THOMAS HERMAN;OLYHA, ROBERT STEPHEN, JR.
分类号 G01N21/88;G01N21/956;G01N27/00;G01R31/265;G01R31/308;H01L21/66;(IPC1-7):G01R31/26 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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