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发明名称 ELECTRON BEAM LITHOGRAPHY EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6251218(A) 申请公布日期 1987.03.05
申请号 JP19850191630 申请日期 1985.08.30
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAMURA KAZUMITSU;ITO HIROYUKI
分类号 H01L21/30;H01J37/30;H01J37/317;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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