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发明名称
摘要
申请公布号	JPS6237200(U)	申请公布日期	1987.03.05
申请号	JP19850128544U	申请日期	1985.08.22
申请人		发明人
分类号	H05H1/46;H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H05H1/46	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
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