发明名称 ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号 JPS6251146(A) 申请公布日期 1987.03.05
申请号 JP19850188679 申请日期 1985.08.29
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 WATANABE SHIGEYOSHI
分类号 H01L21/265;H01J37/08;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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