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经营范围
发明名称
ULTRAVIOLET RAY CLEANING MONITORING
摘要
申请公布号
JPS6251224(A)
申请公布日期
1987.03.05
申请号
JP19850189554
申请日期
1985.08.30
申请人
HITACHI LTD
发明人
OTAKE MITSUYOSHI
分类号
H01L21/30;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065
主分类号
H01L21/30
代理机构
代理人
主权项
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