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发明名称
WASHING METHOD
摘要
申请公布号
JPS6251029(A)
申请公布日期
1987.03.05
申请号
JP19860177818
申请日期
1986.07.30
申请人
FUJITSU LTD
发明人
IGUSA NOBUO
分类号
G11B5/84;B08B7/04;H01L21/304
主分类号
G11B5/84
代理机构
代理人
主权项
地址
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