发明名称
摘要
申请公布号 DE2743856(C2) 申请公布日期 1987.03.05
申请号 DE19772743856 申请日期 1977.09.29
申请人 SIEMENS AG, 1000 BERLIN UND 8000 MUENCHEN, DE 发明人 RUCHA, ULRICH;BAROWSKI, GERHARD, 8000 MUENCHEN, DE
分类号 H01L21/205;C23C16/52;C30B25/16;H01L21/31;(IPC1-7):C30B25/08 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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