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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6249632(A) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 JP19850190701 申请日期 1985.08.28
申请人 NEC CORP 发明人 NOZUE HIROSHI
分类号 H01L21/3213;H01L21/027;H01L21/263;H01L21/3205;H01L21/324;H01L21/82;H01L27/118 主分类号 H01L21/3213
代理机构 代理人
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