发明名称
摘要
申请公布号 JPS6236528(U) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 JP19850127574U 申请日期 1985.08.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/208;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/208;H01S3/18 主分类号 H01L21/208
代理机构 代理人
主权项
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