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发明名称 PROJECTION TYPE EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6249624(A) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 JP19850190253 申请日期 1985.08.29
申请人 NIPPON KOGAKU KK <NIKON> 发明人 KUDO YOSHIHIKO
分类号 H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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