发明名称 PROCESSING OF SEMI-CONDUCTOR MATERIALS
摘要
申请公布号 GB8701759(D0) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 GB19870001759 申请日期 1987.01.27
申请人 LAPORTE INDUSTRIES LTD 发明人
分类号 B08B3/08;C23G1/10;H01L21/304;H01L21/306 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
地址