发明名称 PROCESSO PER RIDURRE IL TEMPO DI SVILUPPO DI AGENTI RESISTIVI
摘要
申请公布号 IT1160057(B) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 IT19780029670 申请日期 1978.11.10
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP. 发明人
分类号 H01L21/30;G03C1/72;G03F7/022;G03F7/30;G03F7/32;H01L21/027;H01L21/302;H01L21/3065;H05K3/06;(IPC1-7):C07C/ 主分类号 H01L21/30
代理机构 代理人
主权项
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