| 发明名称 |
WORK CONVEYING EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR MANUFACTURING EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6249642(A) |
申请公布日期 |
1987.03.04 |
| 申请号 |
JP19850188636 |
申请日期 |
1985.08.29 |
| 申请人 |
HITACHI ELECTRONICS ENG CO LTD |
发明人 |
SUZUKI HIROSHI;NISHIMURA SADATOMO |
| 分类号 |
H01L21/677;B65G37/00;H01L21/67;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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