发明名称 |
Photoreactive polymers for the preparation of relief structures. |
摘要 |
Photoreaktive Polymere, die durch Bestrahlung mit aktinischem Licht ihre Struktur und Eigenschaften ändern, enthalten im Polymeren Ylid-Gruppierungen von N-Heteroaromaten mit 6 Ringatomen und ein oder zwei aromatischen bzw. heteroaromatischen Ringen, im allgemeinen in Mengen von 5 bis 50 Gew.-% des Polymeren. Sie werden für die Herstellung von Reliefstrukturen, insbesondere für die Strukturierung von Leiterplatten oder Halbleiterbauelementen verwandt.
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申请公布号 |
EP0212372(A2) |
申请公布日期 |
1987.03.04 |
申请号 |
EP19860110541 |
申请日期 |
1986.07.30 |
申请人 |
BASF AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
SCHWALM, REINHOLD, DR.;KOCH, HORST, DR.;SCHULZ, GUENTHER, DR.;BOETTCHER, ANDREAS, DR.;LOERZER, THOMAS, DR. |
分类号 |
C08F2/48;G03F7/038;(IPC1-7):G03F7/10 |
主分类号 |
C08F2/48 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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