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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG HOCHLEITFAEHIGER METALLSILICIDSCHICHTEN
摘要
申请公布号 DD243589(A1) 申请公布日期 1987.03.04
申请号 DD19850284596 申请日期 1985.12.18
申请人 TECHNISCHE HOCHSCHULE KARL-MARX-STADT,DD 发明人 BRETSCHNEIDER,WERNER,DD;BEDDIES,GUNTER,DD;BEIER,BERND-ULRICH,DD
分类号 H01L21/26;H01L21/28;H01L21/324;(IPC1-7):H01L21/28;H01L21/88 主分类号 H01L21/26
代理机构 代理人
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