EPITAXIAL CRYSTAL MANUFACTURING EQUIPMENT,申请号JP19850191014-传众专利搜索

发明名称	EPITAXIAL CRYSTAL MANUFACTURING EQUIPMENT
摘要
申请公布号	JPS6249617(A)	申请公布日期	1987.03.04
申请号	JP19850191014	申请日期	1985.08.28
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	KIMURA TADASHI
分类号	H01L21/205	主分类号	H01L21/205
代理机构		代理人
主权项
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