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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6352484(A) 申请公布日期 1988.03.05
申请号 JP19860195380 申请日期 1986.08.22
申请人 HITACHI LTD 发明人 KATAYAMA YOSHIFUMI;SHIRAKI YASUHIRO;ICHIGUCHI TSUNEO
分类号 H01L29/66;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/78;H01L29/80;H01L29/812 主分类号 H01L29/66
代理机构 代理人
主权项
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