发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPS6249644(A) |
申请公布日期 |
1987.03.04 |
申请号 |
JP19850190103 |
申请日期 |
1985.08.29 |
申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SUGITA MASAO;UCHIDA YOSHIO;KOYAMA KENJI;TSUKUNE ATSUHIRO;NISHIMURA MASAHIDE |
分类号 |
H01L21/768;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L21/768 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|