发明名称 HEATING AND COOLING OF ELECTRONIC PART
摘要
申请公布号 JPS6249268(A) 申请公布日期 1987.03.03
申请号 JP19850189258 申请日期 1985.08.28
申请人 TOSHIBA SEIKI KK 发明人 ICHIKAWA HIROSHI
分类号 H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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