发明名称 CHARACTERISTIC MEASURING JIG OF BEAM LEAD SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号 JPS6248036(A) 申请公布日期 1987.03.02
申请号 JP19850188846 申请日期 1985.08.28
申请人 NEC CORP 发明人 UGAJIN SHIGERU
分类号 H01L21/66;G01R1/073 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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