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发明名称 ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS64736(A) 申请公布日期 1989.01.05
申请号 JP19870066882 申请日期 1987.03.20
申请人 JEOL LTD 发明人 YOKOURA TOSHIO;NAKAMURA KAORU
分类号 H01J37/317;H01L21/027;H01L21/30 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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