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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6246546(A) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 JP19850186065 申请日期 1985.08.23
申请人 NEC CORP 发明人 MIHARA SEIICHIRO
分类号 B24B49/16;H01L21/28;H01L21/283;H01L21/3205;H01L23/52 主分类号 B24B49/16
代理机构 代理人
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