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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6247120(A) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 JP19850187002 申请日期 1985.08.26
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MORITSUKA KOHEI
分类号 H01L29/73;H01L21/265;H01L21/324;H01L21/331;H01L29/72;H01L29/737 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
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