发明名称 DEVICE FOR CHECKING FLATNESS OF POLISHED SEMICONDUCTOR BOARDS
摘要
申请公布号 SU1293485(A1) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 SU19853962437 申请日期 1985.10.09
申请人 ZAVOD CHISTYKH METALLOV IM.50-LETIYA SSSR 发明人 BEREZHINSKIJ LEONID I,SU;LISITSA MIKHAIL P,SU;LYSENKO VLADIMIR F,SU;NECHEPORENKO VLADIMIR V,SU;SERGEEV OLEG T,SU;USENKO ALEKSEJ D,SU
分类号 G01B11/24;G01B9/02 主分类号 G01B11/24
代理机构 代理人
主权项
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