发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6246543(A) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 JP19850186068 申请日期 1985.08.23
申请人 NEC CORP 发明人 MIKOSHIBA KEIMEI;FUKUDA YUMI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
地址