发明名称 ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE AND MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPS6246986(A) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 JP19850184635 申请日期 1985.08.22
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 KOMURA OSAMU;MIYAKE MASAYA;SHIBATA KENICHIRO;SOGABE KOICHI
分类号 C04B35/581;C04B35/58;C04B41/87;C04B41/89;H01L23/15;H05K1/03 主分类号 C04B35/581
代理机构 代理人
主权项
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