发明名称 |
ALUMINUM NITRIDE SUBSTRATE AND MANUFACTURE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS6246986(A) |
申请公布日期 |
1987.02.28 |
申请号 |
JP19850184635 |
申请日期 |
1985.08.22 |
申请人 |
SUMITOMO ELECTRIC IND LTD |
发明人 |
KOMURA OSAMU;MIYAKE MASAYA;SHIBATA KENICHIRO;SOGABE KOICHI |
分类号 |
C04B35/581;C04B35/58;C04B41/87;C04B41/89;H01L23/15;H05K1/03 |
主分类号 |
C04B35/581 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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