发明名称 DEVICE FOR AUTOMATIC ORIENTATION OF TOPOLOGICAL STRUCTURES OF MICROELECTRONICS ELEMENTS
摘要
申请公布号 SU1293490(A1) 申请公布日期 1987.02.28
申请号 SU19853949592 申请日期 1985.07.23
申请人 PILIPOVICH VLADIMIR A,SU;MITKIN RUSLAN B,SU;RAZVIN YURIJ V,SU 发明人 PILIPOVICH VLADIMIR A,SU;MITKIN RUSLAN B,SU;RAZVIN YURIJ V,SU
分类号 G01B21/00 主分类号 G01B21/00
代理机构 代理人
主权项
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