发明名称 DRIER
摘要
申请公布号 JPS6245125(A) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 JP19850184212 申请日期 1985.08.23
申请人 HITACHI MICRO COMPUT ENG LTD;HITACHI LTD 发明人 SAITOU REIJI;KASAI ATSUSHI
分类号 F26B23/04;H01L21/304 主分类号 F26B23/04
代理机构 代理人
主权项
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