发明名称 CARRYING MECHANISM
摘要
申请公布号 JPS6245131(A) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 JP19850184129 申请日期 1985.08.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 HOSHINO TOSHIO
分类号 B65H5/06;H01L21/50 主分类号 B65H5/06
代理机构 代理人
主权项
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