DRY ETCHING DEVICE,申请号JP19850183948-传众专利搜索

发明名称	DRY ETCHING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS6245033(A)	申请公布日期	1987.02.27
申请号	JP19850183948	申请日期	1985.08.23
申请人	HITACHI LTD	发明人	TSUJII KANJI;YAJIMA YUSUKE;MURAYAMA SEIICHI
分类号	H01L21/302;H01L21/3065	主分类号	H01L21/302
代理机构		代理人
主权项
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