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经营范围
发明名称
TURBO MOLECULE PUMP
摘要
申请公布号
JPS6245997(A)
申请公布日期
1987.02.27
申请号
JP19850181719
申请日期
1985.08.21
申请人
HITACHI LTD
发明人
OKAWADA TAKESHI;UEDA SHINJIRO;YAMAZAKI SUSUMU;MASE MASAHIRO;ARAI NOBUKATSU;NAKAMORI KAZUAKI
分类号
F04D19/04
主分类号
F04D19/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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