发明名称 Method and apparatus for detection of trace impurities in an impure inert gas
摘要
申请公布号 US4889814(A) 申请公布日期 1989.12.26
申请号 US19880184989 申请日期 1988.04.22
申请人 SAES GETTERS SPA 发明人 SUCCI, MARCO
分类号 G01N21/27;G01N27/64;G01N27/68;G01N30/74;G01N30/84;G01N31/00 主分类号 G01N21/27
代理机构 代理人
主权项
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