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发明名称 PROCEDEU DE DEPUNERE A SURSEI LOCALE PENTRU DOPAREA CU FOSFOR A PLACHETELOR DE SILICIU
摘要
申请公布号 RO91138(A2) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 RO19850118155 申请日期 1985.03.28
申请人 CENTRUL DE CERCETARE STIINTIFICA SI INGINERIE TEHNOLOGICA PENTRU SEMICONDUCTOARE,RO 发明人 BURLACEL &ON,RO;POSTOLACHE CONSTANTIN,RO;ALEMARIU BERNARD,RO;PAUN VICTOR,RO
分类号 H01L21/225;(IPC1-7):H01L21/225 主分类号 H01L21/225
代理机构 代理人
主权项
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