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发明名称 THERMAL TREATMENT EQUIPMENT
摘要
申请公布号 JPS6245109(A) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 JP19850184140 申请日期 1985.08.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 TAKAGAKI TETSUYA;UCHINO TOSHIYUKI
分类号 H01L21/22;H01L21/324 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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