发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE AND MANUFACTURE OF SAME
摘要
申请公布号 JPS6245177(A) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 JP19850184132 申请日期 1985.08.23
申请人 HITACHI LTD 发明人 YOKOYAMA GOICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/265 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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