| 发明名称 |
CHARGED PARTICLE PATTERN GENERATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS6245110(A) |
申请公布日期 |
1987.02.27 |
| 申请号 |
JP19860192233 |
申请日期 |
1986.08.19 |
| 申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
KARERU DEIIDERITSUKU FUAN DERU MASUTO |
| 分类号 |
H01J37/305;H01J37/153;H01J37/30;H01L21/027 |
主分类号 |
H01J37/305 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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