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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPS6245044(A) 申请公布日期 1987.02.27
申请号 JP19850184951 申请日期 1985.08.22
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOBAYAKAWA HIROSHI
分类号 H01L21/768;H01L21/28;H01L29/43 主分类号 H01L21/768
代理机构 代理人
主权项
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