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经营范围
发明名称
METHOD AND APPARATUS FOR DEPOSITING THIN FILM
摘要
申请公布号
JPS6244575(A)
申请公布日期
1987.02.26
申请号
JP19850183946
申请日期
1985.08.23
申请人
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT>
发明人
URISU TSUNEO;KURAKI OKU;YOSHIKAWA AKIRA;KITAYAMA TOYOKI
分类号
C23C16/48
主分类号
C23C16/48
代理机构
代理人
主权项
地址
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