发明名称 MOVING MOUNT TABLE DEVICE
摘要
申请公布号 JPS6244601(A) 申请公布日期 1987.02.26
申请号 JP19850184465 申请日期 1985.08.22
申请人 TOKYO OPTICAL CO LTD 发明人 HAYAFUNE KENJIROU
分类号 H01L21/68;G01B5/00;G01B9/021;G05D3/00;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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