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发明名称
摘要
申请公布号
JPS6232531(U)
申请公布日期
1987.02.26
申请号
JP19850124312U
申请日期
1985.08.13
申请人
发明人
分类号
B08B3/04;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
B08B3/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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