发明名称 POSITIVE PROCESS FOR OBTAINING RELIEF OR RESIST PATTERNS
摘要
申请公布号 DE3369402(D1) 申请公布日期 1987.02.26
申请号 DE19833369402 申请日期 1983.08.04
申请人 BASF AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 SAENGER, DIETRICH, DR.;LEYRER, REINHOLD J., DR.
分类号 (IPC1-7):G03F7/10 主分类号 (IPC1-7):G03F7/10
代理机构 代理人
主权项
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