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经营范围
发明名称
ELECTRO-STATIC ABSORBER
摘要
申请公布号
JPS6244332(A)
申请公布日期
1987.02.26
申请号
JP19850183961
申请日期
1985.08.23
申请人
CANON INC
发明人
SATO YASUE
分类号
H01L21/683;B23Q3/15;H01L21/67;H01L21/68
主分类号
H01L21/683
代理机构
代理人
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