| 摘要 |
L'installation comprend un carter (1) avec une conduite d'amenée (3, 4) pour un gaz de réaction et un gaz rare, un magnétron (6) ainsi qu'au moins une fixation (9) pour les substrats, la fixation (9) se positionnant, avant la surface de pulvérisation et entre un dispositif d'ionisation, au moyen d'au moins deux électrodes (7, 8). Une (8) de ces électrodes fonctionne comme émetteur d'électrons et l'autre (7) est mise sur un potentiel positif par rapport à l'électrode émettrice (8), la fixation (9) des substrats étant elle-même sur une tension négative par rapport à la masse. |
