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发明名称
SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号
JPH0375367(A)
申请公布日期
1991.03.29
申请号
JP19890211976
申请日期
1989.08.17
申请人
MITSUBISHI KASEI CORP
发明人
SHIROSAKA YOSHIYUKI;TAMURA TAKANORI;NISHIMURA NAOKI
分类号
C23C14/34;C23C14/35
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
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