发明名称 SYNTHESIS OF DIAMOND THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH0375297(A) 申请公布日期 1991.03.29
申请号 JP19890207905 申请日期 1989.08.14
申请人 NANBA YOSHIKATSU 发明人 NANBA YOSHIKATSU
分类号 C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50 主分类号 C30B29/04
代理机构 代理人
主权项
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